氦質譜檢漏泄漏率介紹

為什么氦被用作示宗氣體？

氦的特性:

分子量小，活躍。

空氣中含量小:5PPM。

氦是惰性氣體，無毒無害。

對于槍法，基于大氣中的氦含量，背景值通常通過調節(jié)針閥調整到-6級來定性泄漏測量；對于真空法，可以定量測量泄漏。

檢漏儀三大模塊：

1.真空系統。

前泵+分子泵組合成真空系統，以獲得高真空。

2.檢測系統。

閥門、內置漏孔、氦質譜室。

3.電路系統。

電信號控制系統由主板、電源板、分子泵驅動板、通信板組成。

真空法

基本方法比較：注：空氣中約5ppm氦氣成分。

注：注：

建議每月對檢漏儀進行校準檢查；

氦檢儀工作時必須放在水平地面上，不得移動；

上部檢測口不能在TEST狀態(tài)下打開，只能在VENT狀態(tài)下打開；

四種常見的氦質譜檢漏方法的檢測原理、優(yōu)缺點及檢測標準：

氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現被檢件的氦泄漏測量。當被檢件密封面有漏孔時，表示泄漏氣體氦等成分的氣體會從漏孔中泄漏。泄漏氣體進入氦質譜檢漏儀后，由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力，只給出氣體中氦分壓信號值。在獲得氦信號值的基礎上，通過標準漏孔比較，可以獲得氦泄漏量。

氦質譜檢漏法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法?？偨Y了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優(yōu)缺點和標準。

真空法氦質譜檢漏。

采用真空法泄漏檢測，需要使用輔助真空泵或泄漏檢測器對被檢產品內部密封室進行真空，采用氦罩或噴霧法在被檢產品外表面施加氦氣。當被檢產品表面有泄漏時，氦氣將通過泄漏進入被檢產品內部，然后進入氦質譜泄漏檢測儀，從而實現被檢產品的泄漏測量。根據泄漏氣體的不同方法，真空法可分為真空噴霧法和真空氦罩法。其中，真空噴霧法通過噴槍向被檢產品外表面噴灑氦氣，可實現漏洞的準確定位；真空氦罩法采用具有一定密封功能的氦罩覆蓋所有被檢產品，覆蓋一定濃度的氦氣，可實現被檢產品總泄漏率的測量。

真空法具有檢測靈敏度高、定位準確、檢漏大容器或結構復雜的優(yōu)點。

真空法的檢測標準主要包括QJ3123-2000氦質譜真空泄漏檢測方法、GB/T15823-2009氦泄漏檢測，主要用于真空密封性能要求，單車、環(huán)境模擬設備等真空密封性能要求。

正壓法氦質譜檢漏。

采用正壓法檢漏時，需要將被檢產品內部密封室充入大氣壓力以上的氦氣。當被檢產品表面有漏洞時，氦氣會通過漏洞進入被檢外表面周圍的大氣環(huán)境，然后通過吸槍檢測被檢產品周圍大氣環(huán)境中氦氣濃度的增加，從而實現被檢產品的泄漏測量。根據氦氣收集方法的不同，正壓法可分為正壓吸槍法和正壓積累法。其中，正壓吸槍法采用泄漏探測器對被檢產品外表面進行掃描探測，可實現漏洞的準確定位；正壓積累法采用具有一定密封功能的氦罩覆蓋所有被檢產品，用泄漏探測器測量一段時間前后氦罩內氦濃度的變化，實現被檢產品總泄漏率的準確測量。

正壓法的優(yōu)點是不需要輔助真空系統，可以精確定位，實現任何工作壓力下的檢測。

正壓法的檢測標準主要包括QJ3089-1999《氦質譜正壓泄漏檢測方法》、QJ2862-1996《壓力容器焊接氦質譜吸槍罩盒泄漏檢測方法》，主要用于高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等大容量高壓封閉容器產品的泄漏檢測。

真空壓力法氦質譜檢漏。

當采用真空壓力法泄漏檢測時，需要將被檢測產品整體放入真空密封室，真空密封室與輔助空氣系統和泄漏檢測器連接，被檢測產品的充氣接口通過連接管引出真空密封室，然后與氦源連接，當被檢測產品表面有泄漏時，氦通過泄漏進入真空密封室，然后進入氦譜泄漏檢測器，實現被檢測產品總泄漏率的測量。

真空壓力法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現任何工作壓力的泄漏率檢測，反映被檢件的真實泄漏狀態(tài)。

真空壓力法的檢測標準包括GB/T15823-2009氦泄漏檢測，主要用于電磁閥、高壓充氣管道、推進劑儲箱、天線、應答器、整星產品等結構簡單、壓力不是特別高的密封產品。

背壓法氦質譜檢漏。

當使用背壓檢漏時，首先將被檢產品放入高壓氦室，浸泡數小時或數天。如果被檢產品表面有漏孔，氦通過漏孔壓入被檢產品內部密封腔，增加內部密封腔內氦的壓力。然后取出被檢驗產品，吹出表面殘余氦，將被檢驗產品放入與泄漏檢驗儀相連的真空容器中。被檢驗產品內部密封腔內的氦通過漏孔泄漏到真空容器中，然后進入氦質譜泄漏檢驗儀，實現被檢驗產品的總泄漏率測量。泄漏檢驗儀給出的泄漏值為測量泄漏率，需要通過轉換公式計算被檢驗產品的等效標準泄漏率。

背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，可實現小型密封容器產品的泄漏檢測，可進行批量檢測。

背壓檢漏標準主要包括QJ3212-2005《氦質譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子電氣元件試驗方法112密封試驗》，主要用于各種電子元件產品的檢漏。

涉及測試：低泄漏測試